標題：光柵本身的參數(shù)決定著莫爾法的測量靈敏度-光學儀器
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-7-2 15:18:46
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正文:
光柵本身的參數(shù)決定著莫爾法的測量靈敏度-光學儀器
我們知道，光柵本身的參數(shù)決定著莫爾法的測量靈敏度，節(jié)距越小
，靈敏度越高。為了滿足不同測量場合對靈敏度的不同要求，或同
一場合下對可變靈敏度的要求，就應該能簡便地、快速地獲得一個
不同節(jié)距的光柵。
Chiany和Jaisingh以及Asundi分別在反射莫爾及陰影莫爾領域
各自發(fā)展了可改變節(jié)距的方法，但這些方法在測量過程中仍需變更
光柵元件，且靈敏度變化范圍有限。由于用物理光柵解調變形光柵
的方法具有致命的弱點，人們開始嘗試通過電子或計算機模擬產生
的模擬光柵來解調變形光柵，這實質上是對變形光柵進行直接分析
的方法。1977年，Idesawa等人發(fā)展了一種稱之為掃描莫爾的方法
，它是利用掃描成像設備對變形光柵采樣并通過計算機處理，借助
于控制掃描相位、節(jié)距以及掃描線形成虛光柵的方向生成高對比度
的莫爾條紋。這種方法可實現(xiàn)條紋自動內插，且能通過軟件補償系
統(tǒng)誤差，但掃描設備的暫態(tài)非穩(wěn)定性(電噪聲)引起的莫爾條紋的高
次諧波項無法補償，不能自動指定條紋絕對級，用于實際測量處理
速度慢。
1 989年，Blat利用聲光調制器(Acousto—Optic Cells)產生
了模擬光柵，柵距可通過改變聲光調制器的頻率來實現(xiàn)，從而達到
了在模式識別或機器人視覺中，為了減少運算量而匹配合適分辨率
的目的，但這種系統(tǒng)所用到的機電裝置比較復雜。1993年，Asundi
又將計算機產生的光柵用于莫爾法中，利用軟件能快速、靈活地改
變計算機光柵的間距及邏輯莫爾的靈敏度，快速實現(xiàn)相移，通過兩
步相移可自動確定邏輯莫爾的條紋級；如果配合使用液晶顯示投影
器，其應用更為廣泛。計算機光柵為莫爾法開辟了新的天地。
許多年來，人們一直致力于莫爾法的研究，在提高精度、改善
靈敏度、實現(xiàn)自動化等方面做了不少工作，積累了不少可為其他三
維面形測量系統(tǒng)借鑒的經(jīng)驗，許多方法用于特定測量對象都取得了
比較令人滿意的結果，但都又不同程度地存在這樣或那樣的問題。
也就是說，無論哪一種改進都不能從根本上克服莫爾輪廓術中所遇
到的所有困難，莫爾法還有待于進一步完善和發(fā)展。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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