標題：磨削和拋光加工-獲得高質量的表面面形和紋理
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-7-2 23:04:13
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正文:
磨削和拋光加工-獲得高質量的表面面形和紋理
而非球面表面隨著表面位置的不同其曲率半徑也不同，需要很
小的磨頭進行磨削和拋光。這些磨頭的質量容易退化而使加工過程
不穩(wěn)定，同時需要精密的機床控制和復雜的校正程序，即使如此，
隨機產生疵病的可能性依然非常大。另外，能夠在500nm范圍內達
用幾個修正循環(huán)，光學元件表面的波紋不可能完全避免，而必須設
置其公差值。
表面紋理的質量
小接觸面積磨頭在加工過程中有確定的工作路徑，只能在很小
的空間內隨機運動，從而導致表面紋理質量的下降。為了獲得和球
面一樣的拋光質量，需要更多的技術改進，例如，拋光時采用更小
尺寸的拋光頭，從10微米尺寸降到3微米尺寸，采用更小的拋光壓
力，從而延長拋光時間。因此，相對于拋光相同質量的球面，拋光
非球面需要更長的時間。最近，在拋光技術方面有了新進展，例如
磁流變拋光技術(合適的拋光液)可以用來拋光各式各樣的光學元件
表面，同時可以獲得高質量的表面面形和紋理。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科