標題：光學(xué)輪廓儀中使用的白光光源具有寬帶可見光譜
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-7-4 15:05:16
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正文:
光學(xué)輪廓儀中使用的白光光源具有寬帶可見光譜
白光干涉光學(xué)輪廓儀
白光干涉(wu)光學(xué)輪廓儀使用寬帶光源照明，其工作形式類似
于一個光學(xué)聚焦傳感器陣列，每個傳感器上接收到的干涉信號的位
置決定了最佳的聚焦位置。使用寬帶照明克服了在單波長甚至是多
波長技術(shù)中存在的局限性。WLI方法由于在MEMS元件、二元光學(xué)元
件及機械加工表面等工程表面測量中的應(yīng)用，早巳確立了它在光學(xué)
輪廓儀中的領(lǐng)先地位。WLI的垂直分辨力依賴于對信號的分析，它
和單波長PSI方法(0．3nm)幾乎一樣好，但是通常情況下在3nm附近
。這里垂直分辨力的定義是在光滑樣品上測量差值的均方根(RMS)
。白光干涉
在干涉光學(xué)輪廓儀中使用的白光光源具有寬帶可見光譜，波長
從380～750nm(紫外光到紅外光)。由于波長帶寬很大這種光源的時
間相干性低，并且不能將其看做點光源，也就意味著它的空間相干
性也很低。光源很低的時間和空間相干性使得所產(chǎn)生的干涉條紋局
限于空間上。
為了在最佳聚焦位置獲得干涉條紋，參考鏡的位置也需要設(shè)置
在物鏡的最佳聚焦點。這可以分三個步驟：首先，將參考鏡從焦點
處移開幾個或者幾十個微米；其次，將物鏡聚焦在具有一些特征的
檢測對象上，比如說銳利而不太高的臺階上(此時還看不見條紋)；
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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