標題：測量如角度、直線度和垂直度測量測量光學儀器
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-9-18 3:14:44
將本頁加入收藏
下一篇：不同的金屬材料焊接工藝碳質量分數(shù)的增加
上一篇：線性誤差可能有各種來源-以及直線度誤差
點擊查看產品參數(shù)和報價--丨--
---
---
---
正文:
測量如角度、直線度和垂直度測量測量光學儀器
激光測量系統(tǒng)概述
激光測量系統(tǒng)提供給機床制造商和用戶機床精度定位必要的基
本的測量組成部件，使用補償數(shù)據(jù)校正機械的定位誤差。其基本系
統(tǒng)包括一個激光光源、補償電子器件、光學器件、電纜及配件。通
常需要一臺計算機控制系統(tǒng)和光學部件滿足機械幾何性能的具體測
量要求。為了校準，整個系統(tǒng)應能夠收集和分析不同的測量數(shù)據(jù)，
包括線性誤差、角度誤差、直線度誤差和垂直度誤差。一個線性激
光的測量分辨率可高達1 nm。這是測量過程可以實現(xiàn)的高精度，它
使用了以精確激光波長為基礎的距離測量計算，從而相比其他的測
量系統(tǒng)具有更高的精度。兩頻率激光技術還經常用來消除光束強度
變化所造成的種種問題，從而得到更好的魯棒性和可靠性。激光束
基本上沿著干涉儀和相關反射鏡之間做相對運動，所以大多數(shù)激光
測量系統(tǒng)進行的測量是一種線性測量。大多數(shù)情況下，干涉測量儀
是固定的光纖，角錐棱鏡是移動部件。其他測量如角度、直線度和
垂直度測量，是基本線性測量實現(xiàn)的特殊應用。在許多激光測量系
統(tǒng)中，誤差補償表在激光測量和控制輸入獲得后可以自動生成。這
些表可用于伺服系統(tǒng)。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科