標(biāo)題：微電子和光電子器件利用了硅的半導(dǎo)體特性
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-9-27 17:24:49
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正文:
微電子和光電子器件利用了硅的半導(dǎo)體特性
微電子和光電子器件利用了硅的半導(dǎo)體特性，對(duì)硅進(jìn)行摻雜，可改
變其電阻率達(dá)8個(gè)數(shù)量級(jí)，并且可以用于批量制備微結(jié)構(gòu)和器件。今天
的硅微電子器件體現(xiàn)在它的復(fù)雜性和微型化，數(shù)百萬(wàn)個(gè)晶體管可以集成
在指甲蓋大小的芯片上。
砷化鎵和化學(xué)元素周期表中的第1II族至第V族半導(dǎo)體化合物應(yīng)用于
光發(fā)射器件，如激光發(fā)射器；硅光電子器件可應(yīng)用于光傳感器，近年來(lái)
，用硅制備的光傳輸器件在實(shí)驗(yàn)室中也進(jìn)行了示范。用硅材料還可用于
制備微光學(xué)器件：硅表面作為鏡子或作為非常平的和光滑的金屬或絕緣
材料鏡子的支撐，硅可以制備成可動(dòng)鏡子和適應(yīng)性光學(xué)元件，氧化硅和
氮化硅可通過沉積和刻蝕工藝制備成含有不同折射率的波導(dǎo)器件(如光
纖)。
微機(jī)械利用了硅的機(jī)械性能。硅非常堅(jiān)固，用它可制作柔性梁和隔
膜。壓力傳感器、諧振器、陀螺儀、開關(guān)和其他機(jī)械與電子機(jī)械器件均
利用了硅極好的機(jī)械性能。
很多微機(jī)械、微傳感器和微驅(qū)動(dòng)器使用了有源材料，例如壓電材料
或形狀記憶合金，硅為這些器件提供了精確的平臺(tái)。超導(dǎo)器件也可以加
工在硅基底上，這是因?yàn)楣枧c該工藝技術(shù)相兼容。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/8931.html
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