標(biāo)題：顯微鏡透鏡的球差、色差等像差導(dǎo)致分辨率降低
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-10-27 0:33:40
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點(diǎn)擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報(bào)價(jià)--丨--
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正文:
顯微鏡透鏡的球差、色差等像差導(dǎo)致分辨率降低
掃描電鏡50萬(wàn)倍的二次電子像和160萬(wàn)倍的STEM像均能得到清
晰的材料顯微結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)。表現(xiàn)出優(yōu)異的分辨率。但是與理論值相比
，掃描電鏡的實(shí)際分辨率還是相差10～100倍。這個(gè)巨大的差異主
要是由以下三個(gè)因素導(dǎo)致的：
(1)透鏡的球差、色差等像差導(dǎo)致分辨率降低；
(2)入射電子束同樣品相互作用降低了分辨率；
(3)信噪比也影響了掃描電鏡的分辨率。
球差
球差是由于透鏡邊緣部分對(duì)入射電子的折射比旁軸部分更強(qiáng)而
導(dǎo)致的。旁軸電子束通過透鏡后在高斯像平面與光軸的焦點(diǎn)上聚焦
；由于折射角度的不同．非旁軸的電子束則聚焦在高斯像平面的左
側(cè)。因此，對(duì)于一個(gè)點(diǎn)源在通過透鏡后不能在高斯像平面上形成清
晰的聚焦點(diǎn)，而是在光軸靠近高斯像平面附近一定距離內(nèi)成像。在
這段距離內(nèi)可以找到一個(gè)位置使點(diǎn)源在該平面成像較清晰且具有最
小直徑的圓斑(球差擴(kuò)散彌散圓)。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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