標題：表面微觀形貌表面的微觀幾何特征分析顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-12-7 1:40:48
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正文:
針對精密工程領域納米級機械加工表面的檢測技術問題，加
工材料納米加工表面質量的檢測評價方法、評價理論體系、檢測儀
器、表面表征方法、表面預測的發(fā)展。通過各類檢測儀器對實際零
件的典型檢測實例，分析和說明納米級表面質量測量的重要性、其
測量理論與方法的內涵。
通過表面質量的測量儀器測量方法的對比，分析指出原子力
顯微鏡測量的檢測能力、參數(shù)指標和技術優(yōu)勢。雖然原子力顯微鏡
在應用上還存在一些理論與技術問題，但其將成為未來超精密納米
加工表面檢測的重要手段之一。
表面微觀形貌的評價方法與評價體系
表面微觀形貌是指表面的微觀幾何特性，也稱為表面拓撲圖像
(Surface Topography)，具體指表面所具有的微觀幾何形狀信息，
并人為地依據(jù)波動間距的大小將其濾波分離出對應于大波動間距的
形狀誤差、對應于微小波動間距的表面粗糙度以及介于兩者之間的
波紋度三類信息分別加以研究。
就機械加工表面而言，表面微觀形貌是由機械加工過程中的各
種加工工序產生的，在很大程度上決定了所制零件的使用性能，直
接影響機械系統(tǒng)的摩擦磨損特性、接觸剛度、疲勞強度、傳動精度
、導電、導熱和抗腐蝕性等，進一步影響產品質量及可靠性。近些
年來，由于工業(yè)和科學技術的快速發(fā)展，對表面形貌提出了越來越
高的要求。因此表面形貌的檢測越來越引起人們的重視，特別是超
精密表面形貌測量技術成為近些年來最受關注的課題之一。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科