標(biāo)題：宏觀幾何形狀超精密表面測(cè)量粗糙度輪廓儀
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-12-7 16:41:45
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正文:
當(dāng)用AFM掃描時(shí)，掃描范圍增加后，由于掃描管的非線性和結(jié)構(gòu)造
成的交叉耦合誤差，對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響增大，雖然在分析數(shù)據(jù)時(shí)已對(duì)原
始掃描圖像“平整”，但掃描尺寸增大后，該補(bǔ)償所起的作用有所減弱
，使得測(cè)量值增大。對(duì)于表面質(zhì)量特別好，宏觀幾何形狀誤差和表面波
紋度小，均勻性好，表面微觀缺陷很少，表面起伏小，包括的峰谷數(shù)量
少，這樣當(dāng)掃描尺寸增加而表面的峰谷沒(méi)有增加或增加很少時(shí)，表面信
息被平均分配，所以測(cè)量值變小。當(dāng)表面包含有宏觀幾何形狀誤差時(shí)，
用AFM測(cè)量，掃描尺寸不足以包括多個(gè)宏觀幾何形狀誤差，所以對(duì)測(cè)量
值沒(méi)有多大影響；而在用RSTPlus干涉顯微鏡測(cè)量時(shí)，由于掃描范圍很
大納米機(jī)械加工表面形貌測(cè)量技術(shù)發(fā)展
通過(guò)上述研究與分析可知，常用的超精密表面3種測(cè)量方法與儀器
各具優(yōu)勢(shì)，通過(guò)對(duì)3種代表性儀器的測(cè)量原理、性能、誤差影響因素及
適用范圍做全面分析比較總結(jié)后發(fā)現(xiàn)：一般的觸針式輪廓儀由于分辨率
不高，易劃傷表面，不能滿足超光滑表面的測(cè)量要求；干涉顯微鏡是目
前常用的超光滑表面測(cè)量?jī)x器，有縱向分辨率高、測(cè)量速度快、數(shù)據(jù)采
集與處理快、可以直接得到表面形貌圖以及儀器商業(yè)化成熟等一系列優(yōu)
勢(shì)，但受物鏡數(shù)值孔徑的限制，橫向分辨率比原子力顯微鏡低，不能探
測(cè)到波長(zhǎng)較小的形貌；以原子力顯微鏡及掃描隧道顯微鏡為代表的掃描
探針顯微鏡技術(shù)具有分辨率高，不受測(cè)量過(guò)程影響的優(yōu)點(diǎn)，且已有成型
商品可供選用，是目前很佳的表面形貌測(cè)量技術(shù)。STM和AFM正在成為超
光滑表面形貌檢測(cè)的重要工具，也是研究超精密加工機(jī)理的重要手段。
利用AFM進(jìn)行超精密加工表面形貌的測(cè)量時(shí)，需要根據(jù)表面質(zhì)量檢測(cè)理
論確定表面微觀形貌的檢測(cè)條件，如測(cè)量范圍、取樣長(zhǎng)度、掃描方向、
采樣間距、一維檢測(cè)（線測(cè)量）還是二維檢測(cè)（面測(cè)量）等。
除了正確地選擇測(cè)量?jī)x器及測(cè)量參數(shù)之外，利用傳統(tǒng)表面微觀輪廓
評(píng)價(jià)參數(shù)如Ra表征表面質(zhì)量已經(jīng)不足以滿足納米機(jī)械加工表面表征要求
，所以應(yīng)利用其他參數(shù)理論進(jìn)行納米機(jī)械加工表面形貌的表征
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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