標(biāo)題：表面粗糙度的光學(xué)式非接觸測(cè)量光學(xué)分析顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2017-4-17 1:58:10
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正文:
在表面粗糙度的光學(xué)式非接觸測(cè)量中，光反射和散射等光學(xué)現(xiàn)
象的利用也非常有效。
在此測(cè)量中，兩組反射光光強(qiáng)的輸出比隨表面傾斜角分布偏
差的增大而增大，并與被測(cè)材料有關(guān)。與光反射式非接觸測(cè)量相類
似，光散射式非接觸測(cè)量是利用測(cè)量表面的散射光的角度分布進(jìn)行
表面粗糙度的測(cè)量。而激光光譜式非接觸測(cè)量則是利用測(cè)量表面的
反射光的光譜分析進(jìn)行表面粗糙度的測(cè)量。
在非接觸測(cè)量中，除了利用光學(xué)現(xiàn)象外，利用微被也能達(dá)到
同樣的效果。與光學(xué)式非接觸原理一樣，微波式非接觸測(cè)量是利用
微波輻射到測(cè)量表面，并通過(guò)檢測(cè)反射微波的強(qiáng)度來(lái)計(jì)算表面粗糙
度的。為微波式非接觸測(cè)量系統(tǒng)，通過(guò)改變頻率來(lái)對(duì)反射波進(jìn)行檢
測(cè)，可用于車削、銑削和磨削表面粗糙度的測(cè)量，當(dāng)粗糙度變高時(shí)
，傳感器的輸出減小。
除了上述的接觸式和非接觸式直接測(cè)量外，表面粗糙度還可通
過(guò)切削力等過(guò)程變量的檢測(cè)進(jìn)行間接推測(cè)。表面粗糙度與表面凸凹
的高度和斜度有關(guān)，其中斜度變化對(duì)粗糙度的影響更大。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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