掃描探針顯微技術(shù)-原子力顯微鏡的操作原理
原子力顯微鏡（AFM）屬于掃描探針顯微技術(shù)（SPM）的一支，此類顯微
技術(shù)都是利用特製的微小探針，來偵測探針與樣品表面之間的某種交
互作用，如穿隧電流、原子力、磁力、近場電磁波等等，然后使用一
個(gè)具有三軸位移的壓電陶瓷掃描器，使探針在樣品表面做左右前后
掃描（或樣品做掃描），并利用此掃描器的垂直微調(diào)能力及迴饋電
路，讓探針與樣品問的交互作用在掃描過程中維持固定，此時(shí)兩者距離在數(shù)至數(shù)百A°（10-10m）之間，而只要記錄掃描面上每點(diǎn)的垂直微
調(diào)距離，我們便能得到樣品表面的等交互作用圖像，這些資料便可用
來　推　導(dǎo)　出　樣　品　表　面　特　性

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