非接觸雙面對焦厚度測定機(jī)
為雙面對焦原理的非接觸式厚度/高度/深度測定機(jī)，
主要應(yīng)用于微機(jī)電(MEMS)的懸膜及材料厚度量測／晶背研磨后的厚度量測／各種薄膜厚度量測。

THS系列的非接觸式厚度/高度/深度測定機(jī)， 採用焦點(diǎn)探測的方法， 搭配獨(dú)特的上、下鏡頭和精準(zhǔn)的對焦指示器，有效的量測行程為10mm。
THS的光學(xué)系統(tǒng)操作非常簡單，使用者能輕鬆看著螢?zāi)痪湍茌p鬆測量。

THS 于Z 軸測量時(shí)不會(huì)因 待測物(sample) 上、下兩面的凹陷或凸起而造成測量的誤差

Z 軸光學(xué)輔助對焦符號，使操作人員有清楚準(zhǔn)確的判斷依據(jù)，減少人為誤差大幅提昇精度。
採用上，下鏡頭的單點(diǎn)測量，不會(huì)因待測物(sample)彎曲而造成測量的誤差。
光學(xué)非接觸的測量方式不會(huì)造成待測物(sample)的刮傷或變形。
總和倍率由 50 倍至 2000倍( 上、下鏡頭須相同)。

THS為針對厚度測量所專門開發(fā)光學(xué)非接觸式測定機(jī)，特有的上、下鏡頭設(shè)計(jì)可分別觀察待測物 (sample) 的上、下兩面。

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