標(biāo)題：表面形狀的質(zhì)量磨削和拋光檢測顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2018-5-26 1:43:17
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正文:
表面形狀的質(zhì)量磨削和拋光檢測顯微鏡
非球面光學(xué)元件的基本特點
表面形狀的質(zhì)量
球面表面具有一個固定的曲率半徑，可以采用大接觸面積
的磨頭加工，這些磨頭只要正確操作。即使經(jīng)過長時間的使用
，仍具有很好的品質(zhì)，沒有明顯的質(zhì)量退化。另外，
這些磨頭在隨機路徑上運動，可以避免元件表面“帶狀”
疵病的產(chǎn)生。因此，即使使用相對簡單的機器，
都可以加工出高質(zhì)量的球面表面。
而非球面表面隨著表面位置的不同其曲率半徑也不同，
需要很小的磨頭進行磨削和拋光。這些磨頭的質(zhì)量容易退化
而使加工過程不穩(wěn)定，同時需要精密的機床控制和復(fù)雜的
校正程序，即使如此，隨機產(chǎn)生疵病的可能性依然非常大
。另外，能夠在500nm范圍內(nèi)達到1nm的測量精度的精密測
量方法是必不可少的。由于必須經(jīng)常采用幾個修正循環(huán)
，光學(xué)元件表面的波紋不可能完全避免，而必須設(shè)置其公差值。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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