標題：樹脂涂布層聚合物樹脂樣品分析顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2019-11-16 6:42:16
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正文:
樹脂涂布層聚合物樹脂樣品分析顯微鏡
感光樹脂的最大特征是,所得圖像的分辨率、耐試劑性、耐磨損性
等優(yōu)良。感光樹脂通常是涂布在作半導(dǎo)體用的硅單晶及印刷線路板用
的鋁卷材等基體上使用。涂布厚度,薄者為0.5微米,厚者幾百微米。當
光線透過涂布層上面的底圖時,引起涂布層噪光。底圖的圖像部分,光
被遙住,感光樹脂不變y底圖的非圖像部分透光引起化學(xué)反應(yīng)。這種化
學(xué)反應(yīng)使聚合物的溶解性發(fā)生變化,故在曝光后將涂布層在顯影液中浸
漬時,則聚合物被選擇性地溶出,形成圖像狀的聚合物涂布層。曝光部
分可溶,未曝光部分殘存,這種類型的感光樹脂是與底圖的器白相同,稱
為正型感光樹脂;與此相反,曝光部分不溶而非曝光部分溶出者,與底圖
的黑相反,稱為負型感光樹脂。
石印術(shù)
利用圖像狀殘存的感光樹脂涂布層的聚合物所具特性(如耐試劑性
、耐磨損性等)的技術(shù),稱為石印術(shù)。具體來說,可用于印刷線路板、集
成電路、膠板印刷版等的制造。制造印刷線路板時,是利用感光樹脂的
耐試劑性。在基板上用感光樹脂形成圖像后,被漫蝕液作用時聚合物殘
存部分不變,而基板暴露部分被浸蝕。這樣,未被浸蝕的基板表面則形
成電路網(wǎng)絡(luò)。因此,感光樹脂不僅具有感光性,而且兼有抗浸蝕作用,故
稱為光致抗蝕劑
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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