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NIR紅外線顯微鏡的應(yīng)用

當(dāng)你的樣品是在silicon當(dāng)中，可是你又不想將你的樣品給破壞掉，用一般可見(jiàn)光又看不到你的defect或者是pattern，這時(shí)候，紅外線顯微鏡應(yīng)該就是你最好的選擇了，至于詳細(xì)情形，看看下面幾張圖的介紹應(yīng)該就夠了，若是需要進(jìn)一步討論的話，要先去多準(zhǔn)備資料應(yīng)付了，呵~~~