標題：PEM-故障分析時最常用的電性定位儀器！搭配顯微鏡偵測缺陷波段！
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2012-5-9 22:08:37
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正文:
PEM-故障分析時最常用的電性定位儀器！搭配顯微鏡偵測缺陷波段！
PEM是IC Design House自行做故障分析時最常用的電性定位儀器，
它的原理簡單的說就是利用一個顯微鏡配上一個光的感測器(Detector)來偵測因為缺陷所產(chǎn)生特定波段的光，
并把光點和之前擷取的晶片影像疊加(superimposition)起來，以達到缺陷處定位的目的
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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