標題：掃描電容顯微鏡的應用簡介,哪有賣金相顯微鏡？
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2012-12-9 13:20:52
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正文:
掃描電容顯微鏡（Scanning Capacitance Microscope：SCM）是掃描探針顯微技術代表性儀器之一，
具有對映出樣品內(nèi)隱含的載子濃度或摻雜濃度的二維分佈對比影像。其基本原理系利用探針與樣品間所形成的等效電容是Cair、Cox和Cd的串聯(lián)，
而Cair為空氣隙縫所形成的電容量，Cox是厚度為tox的氧化絕緣體所形成電容量，Cd是厚度為td的半導體空乏層所形成的電容量，
進而量測半導體內(nèi)部空乏層的電容量，與最接近探針尖端的局部材料表面摻雜濃度有關。
掃描電容顯微儀藉由偵測dC／dV的變量以對映出樣品內(nèi)隱含的載千濃度（carrier concentration）或摻雜濃度（doped concentration）的二維分佈對比影像，
可應用于MOSFETs、diodes或laser-structures等的檢測。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/3720.html
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