標(biāo)題：電子元件分析的工具簡介-掃描顯微鏡溫度解析度約0.5℃
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-3-9 0:58:30
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正文:
電子元件故障分析的工具簡介-掃描顯微鏡
掃描熱導(dǎo)顯微鏡可以作為量測低、高介電質(zhì)之熱導(dǎo)系數(shù)及電子元件故障分析之工具。
目前半導(dǎo)體業(yè)界，低、高介電質(zhì)的研發(fā)，其中包括多種物理、化學(xué)性質(zhì)差異頗大的新薄膜材料，
因此極需建立準(zhǔn)確量測新薄膜材料之物理、化學(xué)性質(zhì)的系統(tǒng)。而新薄膜材料之熱導(dǎo)系數(shù)量測，
就是最近逐漸受到重視的研究課題。掃描熱導(dǎo)顯微鏡的溫度影像，其中溫度解析度約0.5℃，
平面解析度則約0.2微米；若將其定點量測出不同時間的溫度變化，或某一時間不同位置的溫度變化，
則可得到薄膜材料之熱導(dǎo)系數(shù)。相較于其他量測熱導(dǎo)系數(shù)的技術(shù)，掃描熱導(dǎo)顯微技術(shù)是唯一不需接觸試片表面，
距離十微米內(nèi)就可量測的非破壞性技術(shù)，且具有較佳的解析度(10)。掃描熱導(dǎo)顯微技術(shù)，經(jīng)由適當(dāng)?shù)男Ｕ绦颍?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
甚至宣稱可以得到材料的絕對熱導(dǎo)系數(shù)(absolute thermal conductivity) (10,11)。
利用掃描熱導(dǎo)顯微鏡觀察實際運作的電子元件由溫度的平面影像，
我們可以輕易地找到熱點的位置，通常也是電子元件故障的位置，即使此熱點上有幾微米厚的金屬層、介電層及保護(hù)層。
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