標(biāo)題：鋁表面粗糙度分析-金相顯微鏡來觀察基板拋光面顆粒
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-3-19 11:53:15
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正文:
氮化鋁表面粗糙度分析
表面粗糙度(Surface roughness)，量測380 μm 厚的氮化鋁基板表面形貌，
可觀察到顆粒之間的高度差約為 40~80 nm，表面粗糙度(Surface roughness)約為 40 nm；
630 μm 厚的氮化鋁基板，顆粒之間的高度差約為 20~60 nm，表面粗糙度約為 20 nm。
氮化鋁基板未拋光之前的表面粗糙度約為 400 nm。
相較于未拋光前，拋光后表面已平整許多，有助于提升后續(xù)晶圓鍵合制程的成功率
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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