標(biāo)題：觀察如納米小的物體需使用電子顯微鏡來(lái)觀察
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-4-16 21:15:29
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正文:
觀察如納米小的物體需使用電子顯微鏡來(lái)觀察
雖然掃描電流顯微鏡的解析度(resolution)為納米等級(jí)，
但其技術(shù)于量測(cè)上卻依舊存在多項(xiàng)因素的干擾，
其中包含了：量測(cè)時(shí)的不確定度、掃描速率與光擾效應(yīng)(photoperturbation effect)等，
這些因素皆會(huì)影響量測(cè)分析進(jìn)行時(shí)的準(zhǔn)確性。為了得到更加精確的量測(cè)結(jié)果，
其中Φ為能障高度(barrier height)，不同的樣品和材料決定了不同的Φ值。Vox為所施加于氧化層上的電壓，
τox為氧化層的厚度，A為與等效質(zhì)量m相關(guān)的常數(shù)。因此，我們可在不同偏壓的情況下判斷FWHM值是否也產(chǎn)生變化，
當(dāng)施加偏壓使得FWHM值有明顯的變化后，接著再回復(fù)到較低偏壓進(jìn)行電流分布統(tǒng)計(jì)的量測(cè)，觀測(cè)其FWHM值是否有所變化，
利用此法可判斷所施加的偏壓是否對(duì)量測(cè)試片產(chǎn)生破壞，倘若此偏壓沒(méi)有造成試片的破壞又可以觀測(cè)出試片的電流分布變化，
即是一種較佳的非破壞性量測(cè)方式。而這個(gè)方法不僅可在掃描電流顯微鏡平臺(tái)上建立出新穎且迅速的閘極氧化層檢測(cè)技術(shù)，
同時(shí)也可用來(lái)進(jìn)行量測(cè)不確定度的判定，有助于量測(cè)進(jìn)行時(shí)的準(zhǔn)確性。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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