標題：制程分析儀器測量微型元件-小零件測量顯微鏡

信息分類:站內新聞　　 作者:yiyi發(fā)布　　 時間:2013-4-17 8:27:48 將本頁加入收藏

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正文:

制程分析儀(process analyzers)又稱線上分析儀(on-line analyzers)，其制造生產與應用已近五、六十年之歷史。

近年來線上制程分析儀(on-line process analyzers)有非常大之突破性發(fā)展，

如分析元件的微型(micro)化與現(xiàn)址式(in-situ)量測，

打破傳統(tǒng)制程分析儀最難也是最複雜之取樣系統(tǒng)的設置且加速分析時間以利制程之反應與控制。 

制程分析儀可分為化性分析儀(chemical property analyzers)、物性分析儀(Physical property analyzers)、
光譜化學成分分析儀(spectrophotometric chemical composition analyzers)與非光譜化學成分分析儀(non-spectrophotometric chemical composition analyzers)等四大類。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

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