標(biāo)題：測(cè)量顯微鏡主要由激光光源、分光鏡與兩個(gè)反射鏡所構(gòu)成
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-4-17 21:05:15
將本頁(yè)加入收藏
下一篇：對(duì)角線測(cè)量工具顯微鏡-金相分析儀器廠家
上一篇：制程分析儀器測(cè)量微型元件-小零件測(cè)量顯微鏡
點(diǎn)擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報(bào)價(jià)--丨--
---
---
---
正文:
激光干涉儀是目前業(yè)界測(cè)量機(jī)臺(tái)幾何誤差之標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，其測(cè)量原理是針對(duì)三軸機(jī)臺(tái)的廿一個(gè)幾何誤差量，
藉由搭配各種型式之光學(xué)鏡組，利用不同相位之激光光交會(huì)所產(chǎn)生的光強(qiáng)變化進(jìn)行測(cè)量，
激光干涉儀廠皆有推出相關(guān)的測(cè)量設(shè)備產(chǎn)品。以定位誤差量測(cè)為例，
測(cè)量系統(tǒng)主要是由激光光源、一分光鏡與兩個(gè)反射鏡所構(gòu)成，而測(cè)量系統(tǒng)之架設(shè)方式，
一般為固定分光鏡與一反射鏡，并將另一反射鏡安
裝在待測(cè)軸上，如圖1所示。激光光在入射分光鏡后會(huì)分為兩道光束，并
經(jīng)由兩面反射鏡將其折回至分光鏡，產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋會(huì)隨著固定
于待測(cè)軸上反射鏡之移動(dòng)產(chǎn)生明暗之變化，透過感測(cè)器偵測(cè)此變化即可計(jì)
算待測(cè)軸之實(shí)際移動(dòng)量，后續(xù)只需進(jìn)一步比較待測(cè)軸預(yù)先設(shè)定之移動(dòng)量，
即可獲得機(jī)臺(tái)之定位誤差。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/4167.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商