標(biāo)題：TFT-LCD的玻璃基板尺寸測(cè)量顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-6-12 20:39:58
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正文:
制造設(shè)備的發(fā)展越快速，由于產(chǎn)品的成本的考量，致使TFT-LCD的玻璃基板尺寸越來(lái)越大
這導(dǎo)致微影圖案的均勻性比從前更難控制。對(duì)1850 mm × 1500 mm之玻璃基板而言，
微影制程圖案均勻性之差可達(dá)1um以上。在四道微影曝光制程中，
不佳的微影圖案均勻性易使TFT的電極制作產(chǎn)生缺陷。經(jīng)由多次實(shí)驗(yàn)及量測(cè)發(fā)現(xiàn)，光阻膜厚、曝光功率、顯影時(shí)間、
軟烤熱板溫度及軟烤制程時(shí)間雖可改變微影制程圖案的寬度，但不會(huì)改善整體圖案的均勻性。
幾經(jīng)線上不斷地實(shí)測(cè)后發(fā)現(xiàn)，若能合理地改善軟烤熱板的溫度分佈，
則可使TFT-LCD整體微影圖案的均勻性提升50%。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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