標(biāo)題：試片表面型態(tài)和粗糙度測(cè)量?jī)x器-顯微鏡常識(shí)
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-7-21 0:35:41
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正文:
準(zhǔn)確的表面資訊。其功能主要是可快速得到試片表面2-D 型態(tài)并精確量測(cè)
段差與微粗糙度，且具有高度再現(xiàn)性。螢?zāi)煌高^200X 放大鏡直接可視表面
型態(tài)。在量測(cè)短距離時(shí)，可用作段差量測(cè)(奈米級(jí))。在量測(cè)長(zhǎng)距離時(shí)，可
用作平坦度、波紋度、應(yīng)力、斷面曲率量測(cè)。主要利用此一高精準(zhǔn)度之輪
廓儀量測(cè)各種濺鍍、蒸鍍及TiO2電極之厚度，其主要規(guī)格如表4-2。
其中最重要的是量測(cè)誤差值造成的限制。 ET-3000 量測(cè)最大長(zhǎng)度100 mm
時(shí)具有200 nm 的誤差，因此量測(cè)距離較長(zhǎng)時(shí)需要考量誤差因素。所以盡量
縮短量測(cè)距離可讓準(zhǔn)確度提高。固定量測(cè)長(zhǎng)度為1 mm 僅有2 nm
的最大誤差，在可容許的誤差范圍（3％）內(nèi)
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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