標題：金相顯微鏡物鏡之NA值越大,寫入的光點就越小
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-11-2 20:06:05
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正文:
金相顯微鏡物鏡之NA值越大,寫入的光點就越小
1. 當寫入直線的速度固定，且顯微物鏡的 NA 一定時，寫入的光強
越強，對兩旁所影響的范圍有漸漸變大的趨勢。
2. 顯微物鏡之 NA 值越大，寫入的光點就越小。所寫入之直線，對
兩旁所影響的范圍就越小，這是我們所樂于見到的，因為如此一
來可以提升灰階光罩的線寬
繞射光柵之灰階光罩制作
接下來的實驗，將是采用 NA 為 0.25 的顯微物鏡來研究。
為不同寫入功率所對產生的最高穿透率圖，選用的是玻片 type1，寫
入為速度 250μm/s，顯微物鏡 NA=0.25。找到不同光強所能對玻片產
生之穿透率�；译A光罩的制作原理也是控制激光光強，在玻片上寫出
我們想要的灰階光罩
選用波長 532nm 之半導體激光，功率達 150mＷ。
激光束先經過聲光調制器(Acoustic Optic Modulator，AOM)，
由 AOM 可用來控制入射光的寫入時間及光強，其中電壓可
控制光強，而寫入時間的則可用電腦來控制。AOM 是用電壓來驅動
元件中的聲波，進而在 AO 晶體內部形成光柵，而此光柵便可將入射
光作繞射，而由輸入的電壓的大小及時間，便可控制繞射光的強度。
由此我們可由電腦中的輸出電壓來控制光強。接下來激光寫入的光路
再經過擴束系統(tǒng)，使光束擴大并平行化到約 10mm，最后經顯微物鏡
聚焦在激光直寫玻片上，形成直徑約數個微米的圓形光點。此光點大
小直接關聯(lián)到機臺的分辨率
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科