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正文:
測微表面精度,計量設(shè)備無需過高的空間分辨率
討論(光學(xué))計量時.必須區(qū)分表面計量和波前計量。正如名字所示,表面
計量是梢確淵量光學(xué)表面的性質(zhì).由于光學(xué)表面是光學(xué)系統(tǒng)的基礎(chǔ),因而是最重
要的計量。兩個光學(xué)表面組成一個透鏡,若是反射情況。則所有光學(xué)功能由一個
光學(xué)表面承擔(dān)。對于注塑模壓成型光學(xué)元件.由于其表面是利用模具形成,因
此,還需要
測量所有光學(xué)模芯的性能。所以,表面計量非常重要.
在闡述最普通的表面計最技術(shù)之前.乖要的是要了解和區(qū)分表述表面特征的
參數(shù):表面精度或形狀,表面光潔度和表面波紋度,主要根據(jù)其空間范圍對其進
行區(qū)別
表面精度是表面的形狀,與長空間波長有關(guān),在整個產(chǎn)品范圍內(nèi)進
行測量。對測微表面精度,計量設(shè)備無需過高的空間分辨率;表面光沽度也稱為
表面
粗糙度,是在一個小長度范圍內(nèi)(通常1mm)確定的表面參數(shù);為了精確
淵量該參數(shù).計量設(shè)備應(yīng)當(dāng)有很高的空間分辨率;最后一個表面質(zhì)量參數(shù)是波紋
度,在許多情況下,也是最難以確定的參數(shù)。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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