標(biāo)題：光學(xué)測(cè)量工具顯微鏡的設(shè)計(jì)原理-什么是測(cè)量誤差
信息分類(lèi):站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2014-8-11 10:20:39
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正文:
測(cè)量頭必須根據(jù)形狀的凸凹而動(dòng)作，但為了縮短測(cè)量時(shí)間，
測(cè)量頭或被測(cè)表面的送進(jìn)速度增大后，測(cè)量頭的頻率就增高，由
于放大機(jī)構(gòu)的慣性等原因，追隨不上被測(cè)表面的凸凹變化是可以
想像到的。因此，把追隨性能一直提高到高頻率運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)
很有必要。其次，在測(cè)量中產(chǎn)生測(cè)量頭的動(dòng)態(tài)測(cè)定力過(guò)大，
就會(huì)使各部變形而產(chǎn)生不能允許的測(cè)量誤差。另外，測(cè)定力過(guò)小，
由于外部震動(dòng)影響等，測(cè)量頭的接觸會(huì)不穩(wěn)定，測(cè)量性能將下降。
因此，必須經(jīng)常保持最適宜的動(dòng)態(tài)測(cè)定力，以便確立檢測(cè)部分的
機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)方法。
此外，考慮到非接觸式檢測(cè)部分，如何有效地用以進(jìn)行微小
量的檢測(cè)、擴(kuò)大、放大的光學(xué)系統(tǒng)，電路，液壓流體回路等技術(shù)，
則是個(gè)重要問(wèn)題，與接觸式檢測(cè)部分比較起來(lái)，它的機(jī)構(gòu)問(wèn)題較
少
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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