標題：研磨、拋光或其他機械加工樣品金相顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2014-12-7 20:04:52
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正文:
研磨、拋光或其他機械加工樣品金相顯微鏡
缺陷的范圍很廣，它可能由空氣中的顆粒沾污造成，也可能
由化學處理的沾污造成，研磨、拋光或其他機械加工操作中所產
生的顆粒也是缺陷的來源。假如清洗和干燥操作不當，也會造成
玻璃的劃傷以及在精細拋光過程中由于嵌入雜質，也會造成玻璃
板的劃傷。假如在涂鉻或金屬化的過程中，在表面上存在缺陷的
話，那么就可能造成圖像錯誤。玻璃基板的兩個表面都應去除缺
陷。在放大倍數(shù)為400的顯微鏡下能觀察到的缺陷才稱之為缺陷，
一般來說，在400倍顯微鏡下不能觀察到的缺陷是不會造成嚴重
的圖像錯誤的。但是當圓形尺寸小于25m時，就不能再用400倍
的顯微鏡來決定缺陷是否存在了。在掩膜檢驗一章中，我們將詳
細介紹缺陷的檢驗方法，
基板兩個表面的缺陷都會造成圖像錯誤，背面的缺陷會反射
到前面，并與前面的缺陷混在一起而影響光刻質量。這里所討論
的缺陷，·無論是表面的還是體內的，在光刻設備中被照明時，都
會引起不透明的斑點。這種錯誤要比改變透射特性的光學畸變嚴
重得多。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科