標(biāo)題：顯微鏡下微電子學(xué)表面分析圖像分析計(jì)量軟件
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-6-22 1:43:48
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正文:
顯微鏡下微電子學(xué)表面分析圖像分析計(jì)量軟件
術(shù)語(yǔ)在多數(shù)情況下污染雜質(zhì)必須用數(shù)量表示。使用術(shù)
語(yǔ)對(duì)一定的問(wèn)題是有意義的。雜質(zhì)一般都是以上述材料的
濃度來(lái)表示。例如百分比，多數(shù)是百萬(wàn)分比（ppm ），有
時(shí)也用十億分比（ppb ）。這種表示法對(duì)原材料雜質(zhì)的均
勻分布是適用的。雜質(zhì)范圍已有規(guī)定的原材料的檢測(cè)，采
用這種表示式也是可以的、用ppm 表示濃度，也就是說(shuō)多
數(shù)材料的雜質(zhì)是均勻分布的。在顯微鏡下通常就不是這樣，
這種變化在微電子學(xué)中非常重要
能否測(cè)量表面污染，并計(jì)算表面污染物的數(shù)量，這是
涉及微電子學(xué)檢驗(yàn)化學(xué)的重要問(wèn)題。所謂“百萬(wàn)分之一”
必須包括材料體積的計(jì)算而且考慮所測(cè)雜質(zhì)和體積的關(guān)系。
不能用它代表表面濃度。
粒子往往被認(rèn)為是表面污染物的點(diǎn)源。這種點(diǎn)源在微
電子學(xué)中有很大影響，然而，器件的性能并不取決于污染
物的總平均濃度。即使用顯微鏡觀察，粒子對(duì)有源集成電
路的部分區(qū)域有影響，似乎在那個(gè)區(qū)域這種元素出現(xiàn)了100%
的濃度，實(shí)際也的確如此。從分析的觀點(diǎn)來(lái)看，如果用儀
器在襯底上分析土微米。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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