標(biāo)題：光電顯微鏡高精度測(cè)量移動(dòng)工作臺(tái)上面的標(biāo)準(zhǔn)尺
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-6-30 22:09:42
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正文:
使用光波干涉法，直接用光波
波長(zhǎng)決定刻線間隔，連續(xù)進(jìn)行刻線。而機(jī)械研究所，采用光波
干涉測(cè)量研制成標(biāo)準(zhǔn)尺(母尺)，把母尺定為基準(zhǔn)，用數(shù)字控制
連續(xù)修正測(cè)量誤差，再刻副尺(被刻尺)。用絲杠實(shí)現(xiàn)直線移
動(dòng)，用光波干涉保證刻線間隔的絕對(duì)值。
用光波干涉法直接刻線時(shí)，必須滿足以下兩條：(1)對(duì)刻
絨間隰要修正由于被刻尺的熱膨脹及空氣折射率等所引起的
誤差；(2)刻線間隔必須是干涉條紋間隔的整數(shù)倍。
為了滿足(1)，使用和被刻尺相同材料的標(biāo)準(zhǔn)尺。標(biāo)準(zhǔn)尺
兩端相對(duì)放置兩個(gè)光學(xué)平面，把被刻尺、標(biāo)準(zhǔn)尺和決定刻線間
隔的光波干涉儀全部安放在同一個(gè)密閉的容器內(nèi)，并選用與
空氣折射率相同的介質(zhì)。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)尺與相同材料的被刻尺溫
度相同，所以能消除因熱膨脹引起的刻線誤差。
光源和工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)放在虛線罩外的點(diǎn)劃線
內(nèi)的測(cè)量室內(nèi)，計(jì)數(shù)記錄裝置等放在測(cè)量室外。固定的光電
顯微鏡高精度地描準(zhǔn)、移動(dòng)工作臺(tái)上面的標(biāo)準(zhǔn)尺的
刻線位置，用位于移動(dòng)臺(tái)右側(cè)的帶有反光棱鏡的邁克爾遜干
涉儀精確地測(cè)量，并由計(jì)數(shù)記錄裝置計(jì)數(shù)(測(cè)量室之外)。這
樣，即可測(cè)得標(biāo)準(zhǔn)尺的移動(dòng)量。為了縮短1米標(biāo)準(zhǔn)尺的測(cè)量時(shí)
問(wèn)，采用六個(gè)光電顯微鏡。當(dāng)刻度中心移到各光電顯微鏡的
光軸下面時(shí)，發(fā)出主尺脈沖信號(hào)，用內(nèi)插法確定兩個(gè)脈沖之間’
的小數(shù)，這就是把正弦狀干涉條紋的一個(gè)周期分成兩份，以
V4波長(zhǎng)(約0．14肛m)為單位，發(fā)出工作臺(tái)移動(dòng)的脈沖。把此
干涉條紋的數(shù)值由電動(dòng)打字機(jī)打印成電動(dòng)符號(hào)，并將電動(dòng)符
號(hào)輸送到外部穿孔機(jī)上穿孔。
使l米的尺子與20厘米的工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng)，并記錄各刻
度位置。過(guò)去校正1米標(biāo)準(zhǔn)尺要花幾個(gè)月，由于使用了光電
顯微鏡和自動(dòng)化測(cè)量，在這個(gè)裝置上，只用50分鐘左右的時(shí)
間就可以完成。由于測(cè)量是在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行的，因此容易保
持測(cè)量環(huán)境的穩(wěn)定，這50分鐘主要是與電動(dòng)打字機(jī)的打印速
度有關(guān)。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/7141.html
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