標(biāo)題：金相分析顯微鏡的物鏡并不要求很高的放大倍率
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-7-22 14:24:26
將本頁加入收藏
下一篇：印制電路板的外觀及晶元微觀缺陷檢測金相顯微鏡
上一篇：測量波度和直線度或其他形狀表面輪廓曲線測量顯微鏡
點(diǎn)擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報價--丨--
---
---
---
正文:
硅片的對準(zhǔn)是用伺服電機(jī)使放在光路中
的平行棱鏡傾斜，以便將十字線的像和狹縫的振幅中心相一致．而
掩模的對準(zhǔn)采用的是用同樣的伺服系統(tǒng)驅(qū)動掩模工作臺使之返回
到平衡位置上的方法．為使左右兩臺顯微鏡都能檢測出二維的圖
形，在光路中插入棱鏡，形成相互共軛的兩個焦面，并裝上能分別
檢測出x方向和y方向標(biāo)志線的振動狹縫．在上述的例子中，
x，Y，0方向的對準(zhǔn)可以在2秒鐘以內(nèi)完成，其定位精度雖取
決于十字線標(biāo)志的對比度情況，但在通常的情況下可得到1pm
以內(nèi)的精度．這樣，用振動狹縫法可以作成有效的光電傳感器．當(dāng)
然由于狹縫的振幅決定了標(biāo)志線的搜索范圍，因此盡管靈敏度和
精度很高，但可能檢測的范圍受到限制，這點(diǎn)是必須注意的．因
此，有必要采用某種方法進(jìn)行粗定位，以便在振動狹縫的搜索范
圍內(nèi)找出目標(biāo)．
這種方法的特點(diǎn)是顯微鏡的物鏡并不要求很高的放大倍率，
如果目標(biāo)對比度較好，通常使用5×的放大倍率便能以0．1 um左
右的重復(fù)性實現(xiàn)對準(zhǔn)．因而焦深的允許范圍也很寬，這在實際應(yīng)
用上可以說是很大的優(yōu)點(diǎn)．
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/7227.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商