標(biāo)題：表面形貌圖象小晶粒構(gòu)成的多晶體試樣金相顯微鏡
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-7-22 23:30:04
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正文:
表面形貌圖象小晶粒構(gòu)成的多晶體試樣金相顯微鏡
電子束器件測試 電子束探針能用來進(jìn)行半導(dǎo)體元件的某些
特殊電學(xué)測試，并且從原理上來說優(yōu)越于機(jī)械探針，因?yàn)樗墒梗黑?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
械損傷減至最小，而且探針的大小可以做得非常�。囊粋�(gè)缺
點(diǎn)是電子束能裂解試樣上面氣氛中的真空泵油，使得在半導(dǎo)體：琵
面沉積了一層薄的碳膜(這樣電子束信號的詮釋可能是困難的
因此不能獲得足夠多的數(shù)據(jù)來全面地表征元件的性能．
可以使用兩種不同的操作方式．第一種是被測元件通過常規(guī)
的接觸與互連方法被偏置，而元件表面任何選定點(diǎn)的二次電子發(fā)
射被用來估計(jì)該點(diǎn)的相對電壓．第二種是在元件上只作一個(gè)外連
接線，而將電子束本身作為另一個(gè)連接線．然后從固定的接觸外連
上測量電流．當(dāng)檢測非常復(fù)雜的電路時(shí)，第一種方式是特別吸引
人的，因?yàn)樗軓碾妷阂r度發(fā)現(xiàn)失效點(diǎn)
電子衍射
當(dāng)一電子束穿過任一晶體的周期性晶格時(shí)，將會被衍射．如
果將透射電子顯微鏡的光學(xué)布置稍作改變，就能把試樣的衍射花
樣(而不是表面形貌圖象)投影在熒光屏上．如相對于光束的截面
積而言，晶體的尺寸足夠大，則將產(chǎn)生衍射斑點(diǎn)并可用晶體結(jié)構(gòu)來
詮釋．對于近似完整的晶體，還能看到菊池線(Kikuohi lines)；
有時(shí)可用它們來測定晶體取向．由很多尺寸比光束面積小得多
的，并且無規(guī)則取向的小晶粒構(gòu)成的多晶體試樣，將產(chǎn)生圓環(huán)狀的
衍射花樣．
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