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正文:
直線度測(cè)量
直線度測(cè)量的目的是確定部件是否沿著一條直線路徑移動(dòng)。直
線度誤差的主要來(lái)源是引導(dǎo)移動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的直線度外形。
使用水平敏感設(shè)備的滾動(dòng)測(cè)量
滾動(dòng)測(cè)量指的是自身軸旋轉(zhuǎn)的測(cè)量。即使有全套設(shè)備的激光干
涉儀,自身軸線翻滾傾斜的測(cè)量也相當(dāng)麻煩。因此,通常用電子水
平測(cè)量系統(tǒng)來(lái)幫助進(jìn)行這一特殊的測(cè)量。簡(jiǎn)單的工作原理是:利用
電子檢測(cè)系統(tǒng)配備的鐘擺來(lái)精確檢測(cè)有關(guān)參考鐘擺的姿態(tài)。該設(shè)備
由兩個(gè)部分組成:水平單元和顯示單元。水平單元要固定到移動(dòng)的
部件,顯示單元顯示角的偏差。準(zhǔn)確度0.2弧秒就可以很容易地實(shí)
現(xiàn)商業(yè)水準(zhǔn)的測(cè)量系統(tǒng)。對(duì)于滾動(dòng)測(cè)量,水平傳感器將固定于移動(dòng)
的部件上。
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北京顯微鏡百科
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