標(biāo)題：角測量精度可在反射鏡間距離微小變化-角測量誤差
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作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-9-17 13:48:11
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正文:
角測量精度可在反射鏡間距離微小變化-角測量誤差
角測量誤差
角測量精度可能在反射鏡間距離微小變化時受到影響。為了將
兩個線性測量轉(zhuǎn)換成一個角的測量，需要精確知道反射鏡之間的距
離。這種距離變化可能會由于角反射鏡殼溫度變化而發(fā)生變化。為
了減少這種誤差，過多的角反射器操作和不同溫度介質(zhì)的接觸應(yīng)當(dāng)
避免或者減到最小。
直線度測量誤差
直線度測量精度在很大程度上取決于兩個直線反射平面鏡是否具
有理想的表面特性。如果平面鏡或凸或凹，這些特征會產(chǎn)生一個直
線度誤差，即使移動部件是沿著筆直的直線移動的。減少這種誤差
的一個方法是旋轉(zhuǎn)直線度反射鏡180°獲得第二組測量。至少有兩
個測量結(jié)果集合可以采集，來計算實際的平均偏差。雖然這個過程
可能會非常耗時，這是彌補直線度光學(xué)儀平面差距的一個有效方法
。
直線相關(guān)的誤差也可能發(fā)生在直線度反射參考平分線不是用激
光干涉儀對齊的，導(dǎo)致失調(diào)(斜率)被錯誤地理解為直線度誤差
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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