標題：線性誤差可能有各種來源-以及直線度誤差
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-9-17 13:48:23
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正文:
線性誤差可能有各種來源-以及直線度誤差
線性誤差
線性誤差可能有各種來源，包括沿導軌的幾何缺陷和測量偏移
／誤差。對于所研究的XY工作臺，最大的誤差可能是來自于螺紋運
動產生的非線性和反彈的有關誤差。
螺紋運動的結構。機械接觸的空氣間隙可能導致實際的位移發(fā)生較
大變化。這或許也解釋了正向和反向線性誤差測量的差異。
直線度誤差
直線度誤差主要源于導軌。直線度誤差測量是與一條參考直線的
垂直偏差得到的。對XY工作臺直線度誤差，有兩個組成部分是可以
確定的，即與沿y軸線偏差有關的X軸直線度，以及與沿X軸線偏差
有關的y軸直線度。任何誤差軟件補償計劃的成效非常依賴于由規(guī)
定的校準方法獲得的幾何誤差信息的可靠性。通過誤差補償，系統(tǒng)
組成部分的幾何誤差是相關的。隨機性質的誤差不能得到補償。機
械校準過程中獲得的誤差測量將不可避免地包含系統(tǒng)誤差和隨機誤
差兩個部分。為正確補償系統(tǒng)誤差，有效地分開這兩個組成部分是
至關重要的�，F(xiàn)有的誤差補償方法中大多數(shù)都沒有充分解決系統(tǒng)誤
差補償中隨機誤差的影響。補償?shù)膸缀握`差通常以誤差校準樣本的
平均值為基準。這個均值基本上假定為一致的系統(tǒng)組件可補償?shù)恼`
差，因為隨機誤差假設是過濾后的過程平均值。不幸的是，基本上
這是不正確的，平均值的補償可能導致嚴重不當?shù)难a償，尤其是當
校準過程中存在著明顯的隨機誤差。在校準工作中，由于短期和暫
時的干擾或噪聲出現(xiàn)的無效樣本或異常值，可以扭曲平均值偏離實
際的系統(tǒng)誤差，因而使用誤差平均值可能導致不足或過多補償。因
此，采用一種加權方法考慮在誤差樣本中不同程度的隨機誤差分量
發(fā)生的概率，可以更準確和更可靠地提取系統(tǒng)誤差補償?shù)臄?shù)據(jù)集。
這樣的統(tǒng)計方法需要大樣本集進行校準，以便有足夠大的數(shù)據(jù)存儲
密度運作。這樣也導致了自動化技術、基于DSP的數(shù)據(jù)記錄和分析
系統(tǒng)的應用。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科