標題：視頻顯微鏡下計數和測定粒子大小-測量光學儀器
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-6-22 18:22:35
將本頁加入收藏
下一篇：光學顯微鏡檢驗產品或過濾面是測量粒子粒徑
上一篇：偏光顯微鏡和普通光鏡光學設計中偏振光原理
點擊查看產品參數和報價--丨--
---
---
---
正文:
粒子測量系統(tǒng)
污染控制的一個基本任務就是計數和測定粒子大小。必須采
取某些測定粒子的方法來確定產品表面及其制造環(huán)境的粒狀物質
控制是否有效。
當然，檢驗產品表面有無粒子存在是最直接、最典型的測量
方法。在顯微鏡下用肉眼觀察，不僅可以定量地提供粒子的情況
，而且可以直接辨認出粒子的類型。用這種方法進行識別是消除
粒子源的第一步。
生產高靈敏產品的環(huán)境應盡可能沒有塵�！，F(xiàn)在已有一種能
瞬時測量液體或氣體粒子含量的儀器。用這些儀器可以鑒定各種
類型的液體處理過濾器是否完善，并可用來測定新環(huán)境的絕對質
量。本章將討論制造微電子器件所用的方法、儀器及其優(yōu)缺點。
檢查方法的選擇
在選擇檢查粒子方案時，首先應考慮為什么要進行檢查。
需要解決的問題有：在空氣或液體工藝環(huán)境中，粒子大小的分布
；識別引起特種產品失效模式的粒子；找出粒子計數變化的時間
，從而改進生產工藝。需要獲得這些參數的原因是為了要確定采
用哪些方法最好。
對空氣或液體環(huán)境中的粒子，或是以某種方式收集起來并送
到實驗室的粒子都應進行分析。一般的電子粒子計數器都能夠完
成狀態(tài)測量。 如果這種儀器買不到，或者所分析的粒子類型不
是原來需要的，就必須收集成批試樣。 一般讓粒子在重力作用
下從環(huán)境中落下，或使試驗液體流過適當的過濾器。
如果要進行瞬時測量，重力法和撞擊法都是不合適的。 然
而要測定粒子大小，并對粒子進行識別，這些收集方法也是可以
的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科