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標(biāo)題：光學(xué)式顯微鏡量測(cè)結(jié)果與理論值誤差在7.5%內(nèi)

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正文:

光學(xué)式顯微鏡量測(cè)結(jié)果與理論值誤差在7.5%內(nèi)

光學(xué)式表面超音波激發(fā)與量測(cè)技術(shù)可應(yīng)用于薄膜材料性質(zhì)的量測(cè)，

是一種非接觸與非破壤式的材料性質(zhì)檢測(cè)方法。

介紹光學(xué)式表面超音波激發(fā)與量測(cè)技術(shù)的應(yīng)用需求、操作原理、實(shí)驗(yàn)架構(gòu)并驗(yàn)證此架構(gòu)的可行性。

實(shí)驗(yàn)架構(gòu)上，超音波激發(fā)的部分采用脈衝雷射激發(fā)，量測(cè)部分則采用Mirau干涉顯微鏡。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，此實(shí)驗(yàn)架構(gòu)確定可以收到具有頻散效應(yīng)的超音波訊號(hào)，并可應(yīng)用于薄膜楊氏模數(shù)的量測(cè)。

以100μm不銹鋼單層簿膜為試片，透過光學(xué)式超音波激發(fā)與偵測(cè)重複實(shí)驗(yàn)6次，量測(cè)結(jié)果與理論值誤差在7.5%以內(nèi)，

與接觸式量測(cè)誤差在18%以內(nèi)比較，驗(yàn)證了Mirau干涉顯微鏡量測(cè)超音波的可行性，以及良好的重現(xiàn)性。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/4061.html 　
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